Anel de deslizamento de equipamentos semicondutores

O anel de deslizamento de equipamentos semicondutores é um dos principais equipamentos em fábricas inteligentes e desempenha um papel fundamental no processo de fabricação de semicondutores. Anel de deslizamento de equipamentos semicondutores geralmente se refere a um sistema de articulação rotativa usado para transmitir energia, sinais e meios líquidos entre as peças rotativas e manter as peças rotativas funcionando continuamente. A seguir, é apresentada uma análise do anel de deslizamento de equipamentos semicondutores:

  1. Função: A principal função dos anéis de deslizamento do equipamento semicondutores é obter transmissão de energia, transmissão de sinal e fluxo médio entre as peças rotativas. No processo de fabricação de semicondutores, as peças rotativas (como tabelas de peça de trabalho, discos de corte etc.) precisam estar conectadas com peças estacionárias (como fontes de alimentação, sensores etc.). Os anéis de deslizamento do equipamento semicondutores alcançam a transmissão estável de energia e sinal, fornecendo escovas e superfícies de contato anulares, enquanto apoiava a entrega de meios líquidos.
  2. APLICAÇÃO: Os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores são amplamente utilizados em vários links de equipamentos de fabricação de semicondutores. Isso inclui a preparação para fatias, deposição de filmes finos, processos de limpeza e inspeção. Nesses processos, os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores podem ser usados ​​para girar discos de fatiamento, juntas rotativas a vácuo e várias estruturas de suporte rotativas para obter fonte de alimentação, transmissão de sinal e entrega média.
  3. Requisitos técnicos: os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores precisam atender a uma série de requisitos técnicos rígidos. Primeiro, ele deve ter as características de rotação de alta velocidade, transmissão de alta precisão e baixo ruído para garantir a estabilidade e a confiabilidade do processo de fabricação de semicondutores. Em segundo lugar, os anéis de deslizamento do equipamento de semicondutores precisam ter boas propriedades de isolamento elétrico e poeira e prevenção de poluição para evitar impacto negativo na qualidade dos produtos semicondutores. Além disso, a resistência à corrosão, a resistência ao desgaste e a vedação confiável também são características -chave exigidas dos anéis de deslizamento do equipamento semicondutores.
  4. Inovação e desenvolvimento: com o desenvolvimento contínuo da tecnologia de semicondutores, os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores também estão constantemente inovando e aprimorando. Por exemplo, o uso de motores sem escova e projetos de anel deslizante sem contato pode reduzir o atrito e o desgaste e melhorar a confiabilidade e a vida útil do equipamento. Além disso, a aplicação de novos materiais e a melhoria da tecnologia de processamento de precisão também podem ajudar a melhorar o desempenho e a confiabilidade dos anéis de escorregamento de equipamentos semicondutores.

QQ20240920-163203_ 副本

Em resumo, os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores são um dos equipamentos de núcleo indispensáveis ​​em fábricas inteligentes. Eles percebem a transmissão de energia, a transmissão de sinal e o fluxo médio entre as peças rotativas no processo de fabricação de semicondutores, garantindo a operação estável e a fabricação de alta qualidade de equipamentos de semicondutores. Com o avanço contínuo da tecnologia de semicondutores, os anéis de deslizamento de equipamentos semicondutores continuarão a inovar e se desenvolver para atender às necessidades das fábricas inteligentes para obter um desempenho e confiabilidade mais altos.

 


Hora de postagem: set-20-2024 de setembro